?產品介紹

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試）系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導率，電阻率)都可以同時進行測量。

MDPinline ingot（MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試）系統包括一個數據庫和相關的統計數據評估，可自動確定準確的切割位置，以提高成品率。主要用于材料質量監控，爐選擇和工藝改進。

?性能

 --無接觸、無破壞的半導體特性

 --少數載流子壽命的檢測能力

 --*的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

 --自動切割標準定義

 --獲取體材料性質的穩態測量

 --*自動化的內聯集成

 --對太陽能級硅錠進行掃描，1mm分辨率

 --測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面

Automated determination of cut off criteria

?優勢

 --保持著*光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。

 --在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的

 --線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫，該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行*自動化的材料監控。

 --對爐料進行質量控制和爐況監測，并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。

?技術參數